Vyberte stránku

Definice pojmů

Název Ref.symbol Definice
 Materiál
Syntetický
křemen
SQC Specifikace syntetického křemene (podle EN/IEC 60758:2004, Ed.3):
stupeň kvality C nebo lepší, hustota inkluzí stupeň Ib,
hustota leptacích kanálků: stupeň 3
Lithium Niobate LN Crystal material with Curie temperature within specified value and with single domain structure by polarization process
Lithium Tantalate LT Crystal material with Curie temperature within specified value and with single domain structure by polarization process
 Rozměry
Průměr D

Průměr kruhové části waferu v milimetrech nebo palcích

Tloušťka T

Tloušťka ve středu waferu, tloušťku meříme s přesností 1 um

Orientace plošky OF Oříznutá ploška na straně waferu sloužící k indikaci orientace
Vedlejší plošky IF Plošky k dalšímu značení orientace, dle zákaznické specifikace
Zkosení Úprava okrajů waferu
Orientace povrchu

Krystalografickou orientaci osy kolmé k povrchu waferu

 Charakteristika
povrchu
Plochost TV5 Tloušťka waferu meřená v pěti bodech
(jeden uprosřed, zbývající na okraji waferu)
LTV Lokální rozdíly v tloušce
Bow Ohybová deformace waferu
Warp Deformace  waferu dle definice IEC 62276, Ed.1
Defekty Defekty na leštěné (pracovní) straně waferu
Podrobnější definice defektů viz. IEC 62276.
Drsnost povrchu Ra Definice dle ISO 468, hodnoty dle požadavku zákazníka,
Alternativa: Specifikace podle zrnitosti brusiva.