Krystaly, Hradec Králové, a.s.
 

Názvy, definice, charakteristiky

Název
Ref.symbol Definice
 Materiál    
 Syntetický
 křemen
SQC Specifikace syntetického křemene (podle EN/IEC 60758:2004, Ed.3): stupeň kvality C nebo lepší, hustota inkluzí stupeň Ib,
hustota leptacích kanálků: stupeň 3
 Lithium Niobate LN Crystal material with Curie temperature within specified value and with single domain structure by polarization process
 Lithium Tantalate LT Crystal material with Curie temperature within specified value and with single domain structure by polarization process
 Rozměry    
 Průměr
D

Průměr kruhové části waferu v milimetrech nebo palcích

 Tloušťka T

Tloušťka ve středu waferu, tloušťku meříme s přesností 1 um

 Orientace plošky
OF Oříznutá ploška na straně waferu sloužící k indikaci orientace
 Vedlejší plošky
IF Plošky k dalšímu značení orientace, dle zákaznické specifikace
 Zkosení   Úprava okrajů waferu
 Orientace povrchu
 

Krystalografickou orientaci osy kolmé k povrchu waferu

 Charakteristika
 povrchu
   
 Plochost TV5 Tloušťka waferu meřená v pěti bodech
(jeden uprosřed, zbývající na okraji waferu)
 LTV   Lokální rozdíly v tloušce
 Bow   Ohybová deformace waferu
 Warp   Deformace  waferu dle definice IEC 62276, Ed.1
 Defekty   Defekty na leštěné (pracovní) straně waferu
Podrobnější definice defektů viz. IEC 62276.
 Drsnost povrchu
Ra Definice dle ISO 468, hodnoty dle požadavku zákazníka,
Alternativa: Specifikace podle zrnitosti brusiva.

 
 
 

KRYSTALY 

Hradec Králové, a.s. 
Okružní 1144 
500 03 Hradec Králové 3 
Česká republika