Monitorovací krystalové jednotky
Typické aplikace
Měření tloušťky nanášených tenkých vrstev (vakuové napařování a naprašování), měření rychlosti růstu tenkých vrstev. Senzory povrchové změny hmotnosti – vysoce citlivé mikrováhy.
Typická specifikace
| Typ | Křemenný krystalový monitor | ||
|---|---|---|---|
| Kmitočtový rozsah | 4990 kHz ±20 kHz | 5970 kHz ±20 kHz | 10000 kHz ±20 kHz |
| Rozsah pracovních teplot | +15 … +55 °C | +20 … +125 °C | +15 … +30 °C |
| Teplotní stabilita kmitočtu | ±5 x 10-6 | ±40 x 10-6 | ±5 x 10-6 |
| Ekvivalentní sériový odpor | 20 Ω max. | 20 Ω max. | 30 Ω max. |
| Pokovení | Cr+Au, Cr+Ag, Au, Ag Model 1 or 2 |
Cr+Au, Cr+Ag, Au, Ag Model 3 |
|
| Budící výkon | 100 µW max. | ||
Další parametry (např. jmenovitý kmitočet, rozměry, materiál a tvar elektrod) je možno konzultovat.
| Rozměry monitorovacích KJ |
|---|
Vnější rozměry [mm]
|
